(株)粟村製作所製
液封式真空ポンプ EVW型
口径40 自吸式-メカニカルシール式 全閉外扇屋外型
7.5kW 4P 三菱電機
口径・型式 :40・EVW45008BN31902
吸い込み量: 1㎥/min
吸い込み圧力: 6.67kPs
吐出圧力: 大気圧
ケーシング/サイドカバー: SUS13
モーター:安川モーター